OFK-800電子氣痕量氣體分析儀
OFK-800電子氣痕量氣體分析儀，設備采用紅外激光離軸入射至高精度腔室，有效光程高達幾千米，極大地提高了探測極限，結合特別的內部溫度和 壓力控制技 術，為客戶提供超穩定的測量，適用于電子氣體生產應用領域的分析檢測，檢測方法及技術與國際接軌。
應用領域
分析儀可對大部分電子氣及其雜質組分進行檢測。
特點
l ppb級別的靈敏度、精度和準確度
l 可同時檢測多種氣體，集中控制，智能化管理
l 單線光譜技術，不受背景氣體交叉干擾影響
l 動態量程測量范圍，可兼顧大、小量程
l 檢測限低、靈敏度高、漂移小
技術指標：
