日本canon數字檢流計掃描儀GM-2000系列

主要特點

1.最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下

與 GM-1000 系列相比，配備新型高脈沖光學編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*，GM-2015 約為 5.8 倍* 。

GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進行比較。

2.提高靜態穩定性

高脈沖光學編碼器和數字伺服技術實現了約 GM-1000 系列的 2/3 的靜態穩定性。

掃描角度（機械角）：±20°

重復定位精度 (PP) *2：1μrad

原點重復精度*2：1μrad

溫度漂移（24小時）：3μrad

日本canon數字檢流計掃描儀GM-2000系列

主要特點

1.最小指令分辨率 0.09 [μrad] 以下

與 GM-1000 系列相比，配備新型高脈沖光學編碼器的 GM-2010/GM-2020 的命令分辨率約為 8.8 倍*，GM-2015 約為 5.8 倍* 。

GM-2010/GM-2020與GM-1010/GM-1020進行比較。 GM-2015 與 GM-1015 進行比較。

2.提高靜態穩定性

高脈沖光學編碼器和數字伺服技術實現了約 GM-1000 系列的 2/3 的靜態穩定性。

掃描角度（機械角）：±20°

重復定位精度 (PP) *2 ：1μrad

原點重復精度*2：1μrad

溫度漂移（24小時）：3μrad