FOC100

FOC200

FOC300

運動范圍（µm）

100

200

300

分辨率（nm）

0,1

0,2

0,3

典型的噪聲基準（nm）

0,01

0,02

0,03

全范圍重復(fù)性（nm）

0,2

0,4

0,6

線性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

諧振頻率（hz)

500

350

250

剛度 (N/µm)

0,6

0,4

0,3

負載（kg）-水平使用

0,5

0,5

0,5

負載（kg）-垂直使用

0,5

0,5

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸：W x L x H (mm)

53,6 x 64,2 x 34,50

53,6 x 64,2 x 34,50

53,6 x 64,2 x 34,50

材料

Al

Al

Al

電纜長度（m）

2

2

2

推薦控制器

Standard

Standard

Standard