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廣電計量檢測集團股份有限公司

等離子體去膠機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海衡鵬企業發展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間2024/6/12 8:42:12
  • 訪問次數210
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總部設于上海,系專業化、集成化的電子制造行業綜合服務性企業。公司致力于引進國外制造設備、精密檢測儀器、*生產材料,服務于國內電子制造行業,以助于國內企業提高產品品質,由制造型向創造型企業邁進。公司依托于中國國內電子制造業的高速發展,產品已涉及消費電子制造、汽車電子、半導體、LED以及光伏太陽能等行業領域,已在市場中建立起良好的信譽和廣泛的商業資源。近年來,隨著市場的日漸成熟和業務的不斷發展,公司的業務已經遍布中國大陸以及港臺市場,并形成較為完善的銷售網絡,深得廣大電子產品制造商的青睞。本公司將緊跟信息時代的發展步伐,充分利用自身優勢,不斷提升自身的服務理念,致力于為客戶提供更專業化、系統化的技術與服務,進一步建立穩固的銷售網絡,從而將公司發展成為中國電子行業發展的企業。 

電子元器件及配件,焊接材料,實驗設備
PLASMA等離子體去膠機概要:該設備是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓
等離子體去膠機 產品信息

PLASMA等離子體去膠機概要:


該設備是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓。設計緊湊占地面積小,設備穩定可靠、易于維護、產能高。




PLASMA等離子體去膠機特點: 


兼容晶圓尺寸為:4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ”

支持2 個開放式晶圓匣或SMIF

高精度3 軸機械手

2種可選等離子體源:

RPS (400KHz Toroidal遠程等離子體源 )

電感耦合等離子體源 (13.56MHz)

高密度等離子體,去膠速率快

優異的均勻性和重復性

占地面積小

耗材成本(COC)和使用成本(COO)低

人性化的人機交互操作系統

工業計算機Windows




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