ET系列勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

　　英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。

　　勻膠機產品特點

　　采用閉環控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠的均一性。

　　5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置)，可選配10個可編程程序，每個程序下可設置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。

　　內置水平校準裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。

　　多重安全保護:

　　電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全;

　　蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人;

　　雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實驗人員安全。

　　樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。

　　一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

　　符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品方便。

　　不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

　　上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠

　　勻膠機轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

　　勻膠機轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。

　　勻膠機目前型號有：