lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C
用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。
用于半導體工藝的高性能質量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規的，可以通過EtherCAT通信進行控制，EtherCAT通信用于半導體制造設備的高速傳輸系統。
半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環境溫度補償流量傳感器作為標準安裝，并且可以作為液化氣支架等選項添加。
特點
準確度±1%SP
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環境溫度保證傳感器
EtherCAT通信
選擇
微流 F.S.
兼容液化氣
寬
使用示例
EtherCAT通信設備的通信統一
越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信（數字I / F），用于高速控制機械臂等運輸系統。 EtherCAT通信有65，536個節點，MFC的所有測量系統和運動系統元件都可以與EtherCAT通信統一。
lintec以太網CAT質量流量控制器MC-5000C
規格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標準 | 最高 F.S. | sdaM |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 10SCCM | 300SLM | 金 |
* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。
