3-Axis PiezoBlock系列
特點(diǎn):
在75V電壓驅(qū)動(dòng)下在X, Y, & Z方向進(jìn)行90微米的壓電運(yùn)動(dòng)
各帶有9個(gè)安裝孔的三個(gè)安裝表面
小尺寸(55 mm x 55 mm x 55 mm)
彎曲設(shè)計(jì)提供了平滑持續(xù)運(yùn)動(dòng)和高硬度
高共振頻率減小了外部振動(dòng)的影響
可選應(yīng)變式傳感器提供好的重復(fù)性( 50納米)
6-Axis NanoMax系列
特點(diǎn):
移動(dòng)范圍:4mm (x, y, z), and 6° (xφ,yφ,zφ)
閉環(huán)工作時(shí)壓電驅(qū)動(dòng)可選
高分辨率:50nm & 0.3 Arcsec(手動(dòng)), and 10nm & 0.06 Arcsec(壓電驅(qū)動(dòng))
高硬度
高共振頻率:>130Hz (10%)
主動(dòng)熱補(bǔ)償
低成本