電感耦合等離子體質譜儀的性能優點
(1) 通過譜線的質荷之比進行定性分析;
(2) 通過譜線全掃描測定所有元素的大致濃度范圍，即半定量分析，不需要標準溶液，多數元素測定誤差 小于20%;
(3) 用標準溶液校正而進行定量分析，這是在日常分析 工作中應用為廣泛的功能;
(4) 同位素比測定是ICP-MS的一個重要功能，可用于地 質學、生物學及中學研究上的來源的研究 及同位素示蹤。
電感耦合等離子體質譜儀的工作原理分析
高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氫氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的nai原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激，發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量
電感耦合等離子體質譜儀的分類
1、按分析目的可分：電感耦合等離子體實驗室質譜儀和電感耦合等離子體工業質譜儀。
2、按結構可分：臺式電感耦合等離子體質譜儀和落地式電感耦合等離子體質譜儀。
3、按分析規?？煞郑盒⌒碗姼旭詈系入x子體質譜儀和大型電感耦合等離子體質譜儀。
4、按分辨率可分：低分辨電感耦合等離子體質譜儀、中分辨電感耦合等離子體質譜儀和高分辨電感耦合等離子體質譜儀。
5、按用途可分：電感耦合等離子體礦石質譜儀、電感耦合等離子體鋼鐵質譜儀、電感耦合等離子體合金質譜儀、電感耦合等離子體重金屬質譜儀和電感耦合等離子體稀土質譜儀等。
