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廣電計量檢測集團股份有限公司

EVG105 抗蝕處理系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市科時達電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號EVG105
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/6/16 17:28:13
  • 訪問次數153
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深圳市科時達電子科技有限公司創建于2011年,經過十年的發展,已經成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫療設備三大產品領域的,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工電子材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等??萍紕撔率强茣r達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業化的技術研發和管理團隊,建立了國內的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構與大專院校開展“產、學、研”合作,成功開發出一系列具有高科技含量的市場產品,公司產品通國內科研機構的產品認證。同時,公司擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系,在電子裝備、醫療設備、產業基礎、網絡安全等領域占據技術主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內科技現代化、加快數字經濟發展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優電子裝備、做大儀器設備、做精產業基礎、做強研發銷售”的總體布局,持續優化核心業務體系,推動企業在科技現代化建設、現代產業體系建設的核心關鍵技術節點上“布點”,在產業鏈價值鏈創新鏈關鍵環節上“成線”,在關系國家、國民經濟命脈和國計民生關鍵領域上“控面”。做強電子裝備,重點發展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統級裝備和產品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高??蒲蓄I域和高科枝企業的提供地位。做大儀器設備,重點發展半導體儀器基礎設施和醫療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網絡信息體系的聯合和全域能力提升、國家治理能力提升和數字化發展。做精產業基礎,重點打造形成電子基礎產品科研和生產的基礎支撐能力,以夯實產業鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發展。做強研發銷售,致力于電子產品的研發??茣r達公司是一家,多年來公司研發團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫療設備的研發。同時企業還致力于將產品做好國內外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質量求生存,科時達公司以超凡的品質和優良的服務,獲得國內外市場的一致認可;公司營銷網絡覆蓋,產品世界各地,目前已經成為國內電子科技行業中重要的生產制造基地。
可以在EVG105烘焙模塊上執行軟烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙過程
EVG105 抗蝕處理系統 產品信息

可以在EVG105烘焙模塊上執行軟烘焙、曝光后烘焙和硬烘焙過程。受控的烘烤環境確保了均勻的蒸發。可編程接近銷提供了抗蝕劑硬化過程和溫度曲線的控制。EVG105烘焙模塊可同時處理多達300毫米的晶圓或多達四個100毫米的晶圓。

特征
獨立烘焙模塊
高達300毫米的晶圓尺寸或同時多達四個100毫米的晶圓
溫度均勻性≤1°C @ 100°C,烘烤溫度高達250°C
用于手動和安全晶片裝載/卸載的裝載銷
烘烤定時器
基板真空(直接接觸烘烤)
N2吹掃和接近烘烤0-1 mm距離的晶片到加熱板可選
不規則形狀的基底


技術數據
晶片直徑(襯底尺寸)
300毫米
電爐
溫度范圍:≤250°C
手動調整升降銷至所需的接近間隙

15700106413
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