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廣電計量檢測集團股份有限公司

4路質子混氣管式PECVD

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱長沙沛鈺進出品貿易有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/2/28 9:39:24
  • 訪問次數263
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長沙沛鈺進出口貿易有限公司和湖南湘魯科學儀器有限公司(兄弟公司)是一家代理國內外儀器的經銷及技術服務的專業公司。沛鈺二維碼公司所涉及的產品遍布大專院校、科研單位、工廠企業、商檢、、農業、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業。主要產品:生命科學儀器,化學分析儀器,光學儀器,物性測試儀器及設備,環保設備/流量儀表,行業專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農業和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術相關的實驗室科研儀器設備、實驗室耗材與試劑、實驗室設計、規劃、改建等服務。公司以“高品質,高服務,高信譽”贏得各地市場,各個領域的好評和歡迎。未來,公司將引進和代理更多國際國內品牌產品,并將研發自有品牌的產品以滿足市場不同的需求,以更高質量的產品,更高質量的服務,更高效率的運營,樸素而*的管理理念,為客戶提供更優良的產品和服務!公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創新 成就 懂道直行 合作共贏公司愿景:成為的儀器供應商 開創一個的儀器時代py-07我公司主要代理產品有:合肥科晶材料技術有限公司 -------------------------- 箱式爐、管式爐、CVD系統及電池成套設備。北京泊菲萊科技有限公司 ------------------------- 光催化設備、氙燈光源。上海和泰儀器有限公司 -------------------- 超純水機。芬蘭艾斯瑪特生物技術有限公司 ------------------- 移液器武漢藍電電子有限公司 ------------------------ 電池測試系統、超級電容器測試系統。上海佑科 --------------------------------- 電子天平。梅特勒、賽多利斯、奧豪斯 -------------------------- 電子天平。美國PINE公司 ----------------------------------- 旋轉圓盤電極裝置、雙恒電位儀。上海佑科、上海光譜儀器有限公司 ---------------------- 紫外、 分光光度計、原子吸收。上海辰華儀器有限公司 ---------------------------- 電化學工作站。上海一恒、精宏、博訊 --------------------------- 干燥箱、培養箱、高低溫試驗箱等。中科美菱、中科都菱低溫科技有限責任公司 ------ 超低溫冰箱、冷藏箱等湖南湘儀、湖南邁克爾、長沙英泰 --------------- 離心機。上海亞榮、長城、予華、愛博特 ------------------- 旋轉蒸發器。昆山美美超聲儀器有限公司 ---------------------------- 等。上海智誠 ---------------------- 智能恒溫搖床.大龍興創實驗儀器(北京)有限公司 -------------- 移液器、磁力攪拌器、電動攪拌器。IKA、上海司樂儀器有限公司 ---------------------- 磁力攪拌器。寧波新芝、北京博醫康 ---------------------- 冷凍干燥機。臨海市譚氏、北京中興偉業 ---------------------- 真空泵。
產品詳情型號:OTF-1200X-50-4CLV-PE產品概述:為使化學反應能在較低的溫度下進行,常利用等離子體的活性來促進反應,這種方法稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)
4路質子混氣管式PECVD 產品信息
產品詳情

型號:OTF-1200X-50-4CLV-PE

產品概述:為使化學反應能在較低的溫度下進行,常利用等離子體的活性來促進反應,這種方法稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)。加熱爐設備的內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可提高設備的加熱效率,同時也可延長設備的使用壽命。

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設備名稱

4路質子混氣管式PECVD系統—OTF-1200X-50-4CLV-PE

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外形尺寸

長*寬*高 2080mm*700mm*1520mm

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爐管規格

外徑: 100mm 

內徑: 96mm×長: 1800 mm

加熱爐主要參數

·溫度: 1200℃

·額定工作溫度: 1100℃

·推薦升溫速率:≤10℃/min

·加熱區長度: L總:440mm(雙溫區包括隔環)

              溫區一:200mm

              溫區二:200mm

·加熱爐額定功率:3KW

·滑動方式:電動控制

·滑動行程:600mm

·電壓:單相AC 208 - 240V, 50HZ

溫控系統

 歐陸EPC3000儀表

·模糊PID控制和自整定調節功能

·智能化24段可編程控制

·帶過電流過電壓保護 漏電保護

電氣元件及電纜,冷壓端子均符合UL認證標準

·控溫精度: ±0.1℃

·控溫:K型熱電偶兩根

·通訊協議:modbus RTU

軟件控制

· 可視化運行狀態監控

· 溫控系統,氣路系統,真空系統,射頻系統,滑動爐體,開合爐體,壓力控制,全自動化,

· 數據記錄、過程記錄集成一體

· 預制工作流程,一鍵自動運行

· 具有恒壓功能,可以設定氣體流量和恒定壓力

壓力控制:采用TRP-12(抽速3L/s)的雙旋真空泵,在總進氣量為100-150sccm,管內壓力為 100-130pa,如總進氣量高于150sccm時,請更換抽速更高的泵,測試為總進氣量為1L/min(滿足四路質量流量計全開狀態時),使用VRD-60泵(抽速18L/s),真空為120-130pa(滿足起輝條件),可在任意供氣量下設定任意氣壓值(該氣壓值需大于搭配泵體的真空值),氣壓值可自動穩定

新式快捷法蘭

可方便快速取放物料

射頻電源

·500W射頻電源

·0--500W可調(穩定性±1%)

·射頻頻率:13.56MHZ

·自動匹配 風冷

·噪音<50dB

·輸入電壓:AC108-250V

供氣系統

·四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%)

·流量范圍:一路0-100 sccm 

            二路0-200 sccm 

            三路0-200 sccm 

            四路0-500 sccm 


注:接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥,將氣壓降至2mpa以下

真空系統

·搭配TRP-12的雙旋真空泵(抽速3L/s)(總進氣量小于150sccm,該泵可以達到等離子發生真空度)

·搭配TRP-60雙旋真空泵(抽速10L/s)(總進氣量1L/min,該泵可以達到等離子發生真空度)

·KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵

·真空度可達10-2Torr

備注

注:采用氬氣高于射頻功率200w情況下,需特殊說明,設備需要特殊改造及測試,(有法蘭過熱情況)

15700106413
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