氯硅烷中組分分析檢測方案(氣相色譜儀)
氯硅烷中組分分析氣相色譜儀氣象色譜分析儀廠家
氣態氯硅烷組分分析是采用填充柱進行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進樣和檢測系統。普瑞GC-9280型氣相色譜儀采用六通閥進樣，并裝有液體進樣氣化室，兼分析液態氯硅烷。
1.氣態氯硅烷組分分析的方法原理 氣態氯硅烷組分分析是采用填充柱進行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進樣和檢測系統。本方法采用六通閥進樣，并裝有液體進樣氣化室，兼分析液態氯硅烷。
2.適用范圍 適用于氣態氯硅烷組分分析
3.分析依據的標準 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定 氣相色譜法
4.氣態氯硅烷組分分析氣相色譜描述
4.1. 用途 氣態氯硅烷組分分析，如二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅。
4.2. 儀器型號 北京普瑞儀器有限公司GC-9280型氣相色譜儀
4.3. 系統配置描述 本方案配置了雙閥進樣口，雙液體進樣口，兩閥四柱，2 個 TCD 檢測器等組成。
5. 技術參數
| 電源 | AC220V±10% 50Hz 2200W | |
| 工作環境 | 環境溫度：5～35℃，相對濕度：≤85％，室內無腐蝕性氣體，工作臺平穩無振動，周圍無強磁場存在 | |
| 相關配件 | 檢測器（根據用戶需求搭配） | 氫火焰離子化檢測器（FID） 熱導池檢測器（TCD） 電子捕獲檢測器（ECD） 火焰光度檢測器（FPD） 氮磷檢測器(NPD) |
| 自動進樣器（選配） | 島津AOC-20i HTA公司的HT系列高效氣相液體自動進樣器 | |
| 柱溫箱 | 爐膛尺寸 | 280×300×180mm |
| 溫度范圍 | 室溫+5~400℃ | |
| 溫度設定 | 1˚C；程序設定升溫速率0.1˚C | |
| 色譜柱溫度穩定性 | 當環境溫度變化1˚C時，為0.01˚C | |
| 程升階數 | 16階 | |
| 程升速率 | 0.1℃-40℃/min（增量0.1℃） | |
| 氫火焰離子化 檢測器（FID） | 大操控溫度 | 400℃ |
| 檢測限 | ≤5×10-12g/s [n-C16] | |
| 漂移 | ≤5×10-13A/30min | |
| 噪音 | ≤2×10-13A | |
| 動態線性范圍 | ≥107 | |
| 熱導池檢測器 （TCD） | 大操控溫度 | 400℃ |
| 靈敏度 | ≥6000mv.ml/mg [苯/甲苯] | |
| 漂移 | ≤100uV/30mi | |
| 噪音 | ≤20uV | |
| 動態線性范圍 | ≥104 | |
| 電子捕獲檢測器 （ECD） | 大操控溫 | 350℃ |
| 檢測限 | ≤1×10-14g/ml （γ-666） | |
| 漂移 | ≤50uV/30min | |
| 噪音 | ≤20uV | |
| 動態線性范圍 | ≥104 | |
| 火焰光度檢測器 （FPD） | 大操控溫度 | 250℃ |
| 檢測限 | ≤2×10-13g/s（P） ≤5×10-11g/s（S） | |
| 漂移 | ≤4×10-11A/30min | |
| 噪音 | ≤2×10-12A | |
| 動態線性范圍 | ≥103（P） ≥102（S） | |
| 氮磷檢測器(NPD) | 大操控溫度 | 400℃ |
| 檢測限 | ≤5×10-13g/s（P） ≤1×10-12g/s（N） | |
| 漂移 | ≤25×10-12A/30min | |
| 噪音 | ≤4×10-13A | |
| 動態線性范圍 | ≥103（P） ≥103（N） | |
更新時間：2021/3/29 12:09:36
