描述
- 全自動操作，簡單易用，非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等
- 濺射電流自動調整——設定濺射電流后，系統(tǒng)自動調節(jié)真空度，從而達到設定的濺射電流，調整時間＜5s，波動范圍＜±5%；
無需按“實驗”鍵調整濺射電流、無需操作“進氣閥”。
- 濺射時間自動記憶——同類樣品一次設定即可；
- 參數(shù)改變自動調整——濺射過程中可以隨時調整濺射電流和濺射時長，系統(tǒng)自動計算疊加，無需終止濺射過程；
- 工作完成自動放氣；
- 樣品臺高度調節(jié)1秒完成；
- 濺射過程可以利用曲線顯示，清晰直觀。
- 軟硬件互鎖，防誤操作，安全可靠
- 真空度高于100Pa，啟動真空保護，無法濺射；
- 濺射電流高于50mA，停止濺射過程；
- 真空泵工作時，系統(tǒng)無法進行放氣操作；
- 鍍層均勻，導電性良好
