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反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱HORIBA, Ltd.
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廠商性質其他
更新時間2022/11/6 13:30:10
訪問次數306

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公司介紹主營產品

堀場集團向遍布各地的用戶大量提供具有水平的分析儀器系統及系列產品。應用范圍從汽車發動機尾氣排放檢測的研發到過程及環境監測，體外醫療檢測，半導體制造和計量，以及范圍廣泛的科技研發和質量控制測量。實踐證明，的質量和值得信賴的性能，贏得了廣大用戶對堀場公司品牌的廣泛信任。

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反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列產品信息

概要
規格

概要

EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和蝶形閥設計確保了本產品的高速、高分辨度響應。

特征

適合高真空環境使用：不銹鋼質本體
抗腐蝕
使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
適合對于腐蝕性氣體的使用

當排氣端流量被調整到的位置：

抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
阻止了噴霧的次級沉積
阻止了危險水蒸氣的擴散
此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產品造成的影響更小
此產品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業前，必需從日本經濟產業省的相關部門獲得出口許可證件。

規格

Model EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.