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廣電計量檢測集團股份有限公司

滑道式PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200-S
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/9/1 16:56:36
  • 訪問次數204
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  鄭州科佳電爐誠招產品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業研發、制造高低溫加熱干燥設備、UV(紫外線)干燥設備。公司擁有優良的加工設備和*的加工工藝和檢測方法。主營產品。其中高溫加熱設備有:實驗電爐箱式電爐管式電爐馬弗爐高溫電爐鐘罩爐升降爐真空爐井式爐氣氛爐

   低溫加熱干燥設備有:工業精密熱風烤箱、潔凈型熱風烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設備UV固化機、UV干燥機、UV上光機等。我們堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品的質量和完善的服務,努力確保客戶滿意。

     我們在堅持自主創新的基礎上吸收國內外優秀產品的*技術,結合國內實際情況研究開發、生產高低溫干燥設備UV干燥設備高溫加熱干燥設備產品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業等;廣泛用于陶瓷化工電子冶金新材料開發機械耐火材料建材特種材料等領域的實驗和生產。低溫加熱干燥設備和UV(紫外線)干燥設備廣泛應用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關硅膠按鍵光學鏡片線圈、化工、木器、運動鞋商標印刷、紙張印刷、汽車配件塑膠領域。產品遠銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!

實驗電爐,馬弗爐,旋轉升降爐,高溫真空爐
產品介紹:滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成
滑道式PECVD系統 產品信息
產品介紹:
    滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品應用:
   PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
  
產品參數:
 
產品名稱滑道式PECVD系統
滑軌管式爐部分
產品型號KJ-T1200-S6044-LK-Z
加熱區長度440mm
爐管直徑直徑60mm
工作溫度≦1100℃
溫度1200℃
測溫元件K型熱電偶
溫控系統PID微電腦可編程自動控制
控溫精度±1℃
溫控保護具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率0-20ºC/min
加熱元件高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓AC 220V 單相 50HZ 
滑軌設計能實現快速升降溫
爐膛材料采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
密封系統該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好
爐  管高純石英管
法   蘭不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料
爐殼溫度≤45℃
                     真空系統部分
名稱高真空分子泵組
主要參數真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動箱體)
真空計測量范圍其測量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統部分
名稱四路質量流量計
氣路四路
流量控制每路氣體含有針閥單獨控制
流量計質量流量計
流量范圍0-1000sccm可調
工作環境溫度5℃-45℃
等離子電源系統
匹配功率范圍0-500W
工作頻率13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率<3W
匹配時間<3S
傳輸效率>90%
匹配器電源AC220V/50-60HZ
輸入連接器N型
輸出連接器UHF
控制模式手動/自動
可設預置點數7
認證*、CE認證
售后服務質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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