主要通過低溫吸收，變溫及變壓吸附等工藝，將氫氣及氯硅烷從工藝廢氣中分離出來以達到循環利用的目的。
技術優勢：
u 氫氣回收率高，氫氣回收率≥80%；
u 通過STC吸收原料氣中的氯硅烷，達到回收氯硅烷，原料重復利用；
u 通過干燥吸附-再生-二次吸附，限度的回收氫氣，減少氫氣排放，同時提高氫氣的純度；
u 利用變壓吸附的廢氣對變溫吸附設備進行反吹，節約公用工程用氣；
u 采用全新的脫氧技術，節能環保；
采用變溫吸附和變壓吸附串聯操作，能夠快速有效地達到氫氣提純的目的；此方法廢氣處理量大。
太陽能光伏 新能源
尾氣（氫氣+氯硅烷）回收技術 產品信息
