數(shù)顯式中量程熱式氣體質量流量控制器/流量計BDD-M100C/M主要應用在量程范圍從30SLM--100SLM之間氣體流量的測量和控制，產品耐壓能達5Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性度好等優(yōu)點，適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體（及少數(shù)腐蝕性氣體）。
性能特點：
1、本體數(shù)顯操作方便 2、耐壓5Mpa
3、抗干擾性強 4、寬壓力范圍
5、流量控制精準 6、數(shù)據傳輸距離遠
技術參數(shù)：
氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘） SLM（標準升每分鐘）
標準狀況：溫度--293.15K(20℃) 壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
型號 | BDD-M100C | BDD-M100M |
流量規(guī)格 | 30SLM---100SLM | |
控制量程（N2) | 2—99% | 2—99% |
精度 | ≤±1%F.S | |
線性 | ≤±0.5%F.S | |
重復性 | ≤±0.2%F.S | |
閥門類型 | 常閉閥 | |
響應時間 | 1—2S | |
耐壓 | 50Bar | |
通訊信號 | 模擬通訊 0—5V或4—20mA 數(shù)字通訊 RS485 | |
供電方式 | ﹢14VDC—27VDC（300mA) | |
泄露率 | 1X10-9atm.cc/sec.He | |
數(shù)顯式中量程熱式氣體質量流量控制器/流量計BDD-M100C/M應用行業(yè)：真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環(huán)境保護設備、各種分析儀器設備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備
