等離子廢氣處理設備采用低溫等離子體技術（DDBD)，低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
　　等離子廢氣處理設備技術應用于氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。
　　產品技術原理
　　（1）、利用特制的高能UV紫外線光束照射有機廢氣和惡臭氣體，裂解有機廢氣和惡臭氣體的分子鍵，瞬間打開斷裂氨、硫化氫、二硫化碳、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、三甲胺、苯乙烯以及VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，降解轉變為低分子化學物，如二氧化碳和水等物質。
　　（2）、利用高能臭氧分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。如CO2、H2O等。UV+O2→O-+O*（活性氧）O+O2→O3（臭氧）。
　　（3）、利用特制的TiO2光觸媒催化氧化過濾棉，在U紫外光的照射下，對空氣進行協同催化反應，產生大量臭氧，對有機廢氣和惡臭氣體進行催化氧化協同分解反應，使有機廢氣和惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，從而達到脫臭及殺滅細菌的目的。