FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的(HEPA)過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計施工簡便，風速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于改變等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

　　該機組設(shè)計整體靈活，便于與骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過濾器采用刀邊型框架時，這種機組也可用于液槽密封骨架，根據(jù)設(shè)計的規(guī)格，可輕而易舉配合骨架，做到潔凈等級要求。外框可選用鋁質(zhì)或不銹鋼。采用這種機組，可以為潔凈室輸送高質(zhì)量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動器的廠家及光學、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。一般萬級潔凈室所用的過濾器，它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達99.99，出風風速0.4m/s，不能有過20KG以上的外力作用于過濾器上，以免破壞過濾器組織架構(gòu)。

　  產(chǎn)品特點
　   1、靈動性。
       因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局要作相應調(diào)整，F(xiàn)FU的靈動性使得這樣的調(diào)整變得簡單，而且不會帶來二次投資。
       2、可再利用性。
      從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
      3、負壓通風。
      這是FFU的特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且穩(wěn)定。
      4、縮短建設(shè)周期。
      使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
      5、減少運行成本。
      雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出免維護等特點。