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廣電計量檢測集團股份有限公司

實驗室滑軌爐PECVD系統設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱河南熱處理設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號S-1200H-CV
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/2/12 10:04:49
  • 訪問次數252
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河南熱處理設備有限公司是一家專業從事熱處理產品的研發、生產、制造、銷售、服務于一體的。公司產品涵蓋箱式爐、高溫管式爐、氣氛爐、箱式馬弗爐、CVD系統、PECVD設備、牙科爐、升降爐、真空爐、定制爐型等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、新能源材料研發、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。多年來公司堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累,先后研發出了一系列具有水準的實驗電爐和工業爐。電爐擁有完整、科學的質量管理體系,標準化的生產制造車間,具有年產1000臺電爐生產制造能力,生產規模位居,是國內具有影響力的實驗電爐、工業爐生產制造商。公司目前有一線員工百余人,多名專業熱工技術工程師和設計制造工程師, 并聯合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發項目,為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優質的服務是電爐所有人的神圣職責!
真空馬弗爐
實驗室滑軌爐PECVD系統設備通過滑動爐體來實現快速的升降溫,配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過多路高精度質量流量計控制不同氣體。
實驗室滑軌爐PECVD系統設備 產品信息
功能特點:
本套PECVD系統通過滑動爐體來實現快速的升降溫,配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過多路高精度質量流量計控制不同氣體。是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇
產品用途:
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
產品參數
  • 爐體結構:雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫;
  • 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩
  • 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻
  • 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料
  • 電源電壓:AC220V 50/60Hz;
  • 功率:4KW
  • 爐管材質:高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小
  • 爐管尺寸:Φ60*1250mm(可定制)
  • 加熱系統:加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經久耐用
  • 加熱區長度:400mm(可定制)
  • 恒溫區長度:200mm(可定制)
  • 工作溫度:≤1150℃(可定制)
  • 溫度:1200℃(可定制)
  • 升溫速率:10℃/min
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 溫控系統:溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能、30段升降溫程序
  • 測溫元件:N型熱電偶
  • 恒溫精度:±1℃
  • 混氣系統:四路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制、內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥、管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套、每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥、通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量
  • 流量規格:0~200sccm
  • 流量精度:±1.5%
  • 高真空真空系統:采用雙級旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10^-4Pa
  • 復合真空計,配置電阻規+電離規
  • 抽速:110L/S
  • 冷卻:風冷
  • 射頻電源系統輸出功率:0-300W
  • 功率穩定度:±0.1%
  • 射頻電源頻率:13.56MHz 穩定性±0.005%
  • 反向功率:120W
  • 射頻電源電子輸出端口:UHF
  • 冷卻:風冷
  • 電源:AC187-253V 50/60Hz
  • 可選配件:混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。
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