Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承，實現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強，可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產(chǎn)品。
Osaka渦輪分子泵特點
無油的超真空環(huán)境
機械式的氣體分子排氣(動態(tài)排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
可排稀有氣體和腐蝕性氣體
可連續(xù)排大流量氣體
可工作的壓力范圍寬。（～10-10Pa）
應用
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
技術(shù)規(guī)格
型號 | TG50F | TG60F | TG70F | TG220F | |
法蘭 | 吸氣口ISO-R/CF | 63 | KF40/63 | 63 | 100 |
排氣口 | KF16 | KF16 | KF16 | KF25 | |
排氣速度 | N2（附加金屬過濾網(wǎng)） | 49L/s | 55L/s | 65L/s | 210L/s |
H2 | 12L/s | 22L/s | 40L/s | 100L/s | |
大壓縮比 | N2 | 1.4×107 | 2×107 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 5×102 | 2×103 | 1×105 | 4×102 | |
極限壓力 | ISO-R/CF | ＜3×10-6Pa | ＜5×10-6Pa/＜1×10-6Pa | ＜5×10-7Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa |
大氣體流量 | N2（sccm） | 80 | 20 | 20 | 400 |
*輔助泵 | ≥50L/min | ≥25L/min | ≥25L/min | ≥80L/min | |
容許輔助壓力 | 1330Pa | 800Pa | 1200Pa | 260Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 4.2/6 | 3.4/5.4 | 3/5 | 5.5/8 |
