伊爾姆 P6Z-101 真空化學雜交泵是旋片泵與抗化學腐蝕隔膜泵的組合體。它通過抗化學腐蝕的隔膜泵吸出滯留在旋片泵內的氣體，使腐蝕性氣體在旋片泵內的時間和數量大幅減少，進而大幅提高旋片泵的使用壽命，同時保留旋片泵制造的高真空。

伊爾姆 P6Z-101 真空化學雜交泵的主要特點是： 
•抗化學腐蝕能力強，適用于抽化學活性強的氣體和蒸汽
•耐蒸汽能力強，適用于在抽排過程中會產生大量蒸汽的場合
•配有減壓閥，確保雜交泵的使用安全
•配有油腔氣泡裝置，增大油的表面積，更快地釋放出油內的殘留物質
•配有液氣分離瓶，截留冷凝的液體
•旋片泵的極限真空能力不受影響，并大幅延長其使用壽命和維護間隔
•只用一個開關可同時開啟和關閉雜交泵

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