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半導體配管配件檢漏用氦質譜檢漏儀液相質譜儀

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公司名稱伯東企業（上海）有限公司
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所在地上海市
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更新時間2022/10/21 9:09:41
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氦氣檢漏儀普發檢漏儀半導體配管配件檢漏氦質譜檢漏儀真空檢漏

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上海伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口的*代理商.

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原子力顯微鏡,霍爾效應測量儀,質譜分析儀,檢漏儀

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上海伯東氦質譜檢漏儀客戶案例: 某專門生產半導體配管配件工程公司, 定制不銹鋼管, 配件和歧管廣泛應用于半導體廠務端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現場量測管路, 然后對不同管路的口徑進行焊接, 產品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s.半導體配管配件檢漏用氦質譜檢漏儀

半導體配管配件檢漏用氦質譜檢漏儀液相質譜儀產品信息

氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
上海伯東客戶某專門生產半導體配管配件工程公司, 定制不銹鋼管, 配件, 閥門和歧管廣泛應用于半導體廠務端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現場量測管路, 然后對不同口徑的管路進行焊接, 因半導體行業的苛刻使用要求, 產品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s, 因此需要進行泄漏檢測, 已驗收管件是否達標. 客戶對檢漏效率要求較高, 需要在生產線使用且方便移動操作, 經過上海伯東*終選擇移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 和 ASM 392!
氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
半導體用真空配管檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 按照下圖組裝樣品, 在懷疑有漏的地方噴氦氣（一般需要檢漏的部位是焊縫或連接處), 如果有漏, 檢漏儀會出現聲光報警同時在屏幕上顯示當前漏率值.

檢漏配置: 1. 氦質譜檢漏儀 ASM 390 1臺 2. 客制轉接頭和配套密封件一套 3. 噴槍和配套氦氣瓶一套
將制作好的各種管件加工焊接, 然后管路連接至氦氣檢漏儀 ASM 390 進行檢漏
經過實際測試, 無論管徑是 6’, 8’ or 10’, 長度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以內達到客戶檢漏底壓需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又, 大大提升了工作效率
測試各個管路時, 可依照客戶需求將數據記錄儲存 (并可儲存至計算機內)
到現場配管, 所有管件組裝后, 長度達好幾十米, 對比之前的檢漏時間, 工程花費時間可能趨近于一天, 但選用伯東 Pfeiffer ASM 390, 在整體抽校與檢漏時間上, 幾乎縮短了一倍時間！
因管路銜接長, Pfeiffer ASM 390 針對此點多了一項功能大漏模式: 定性泄漏檢測從100 mbar 到20 mbar 開始（進入測試模式之前）此一區間即可進行檢漏, 快速縮短檢漏時間

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. *氦質譜檢漏儀應用 >>
半導體配管配件檢漏用氦質譜檢漏儀
半導體配管配件檢漏用氦質譜檢漏儀

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