活性炭吸附脫附凈化再生裝置處理流程包括三部分：干式除塵、吸附氣體流程、脫附氣體流程；
1、干式過濾器：待處理的有機廢氣由風管引出后進入干式過濾器，可過濾廢氣中的顆粒物及粘性成分，延長活性炭的吸附周期及使用壽命；
2、吸附氣體流程：利用活性炭的物理特性對VOC有機廢氣進行吸附，且蜂窩狀活性炭比表面積大、吸附能力強特性，將有機廢氣吸附到活性炭的微孔中，從而使氣體得以凈化，凈化后的氣體再通過風機排空，達到有機廢氣治理的效果；
3、脫附氣體流程：當活性炭微孔吸附飽和時，將不能再進行吸附，此時利用催化床產生的高溫熱風對活性炭進行脫附，活性炭微孔中的有機物遇高溫后自動脫離活性炭，使活性炭再生。脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并被送入催化燃燒室進行催化燃燒，在催化劑上于250～300℃進行催化氧化，使其轉化為無害的CO2和H2O排出，當有機廢氣濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用另外再行加熱，燃燒后的尾氣一部份直接排到大氣，大部份熱氣流被再次循環送往吸附床，用于對活性炭的脫附再生。這樣既能滿足燃燒和脫附所需熱能，又能達到節能的目的，再生后的活性炭可用于下次吸附。
活性炭吸附脫附凈化再生裝置主要使用活性吸附裝置對廢氣中的有機廢氣、粉塵進行過濾、吸附從而達到凈化有機廢氣和除塵的效果，吸附裝置是比較傳統的一種廢氣處理方法，可是由于活性炭在廢氣濃度大或有大量油煙、粉塵氣體時容易飽和，需要經常對活性炭進行更換，而活性炭成本比較高，而且使用過的炭也是一種危廢，容易造成污染，所以通過活性炭脫附再生裝置使得炭能經常處理后循環利用，能大大降低企業進行廢氣處理的成本。
