等離子氧一體機對部分行業的凈化效率在95%左右，是目前市場上的廢氣凈化設備。
等離子光氧一體機工作原理：
廢氣首*入等離子模塊，通過放電，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，后生成無害產物。生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。
未*分解的廢氣再進行光氧設備內部。
在光氧設備內部主要分三步對廢氣進行處理凈化：
1、光氧設備利用C波段的紫外線光切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結構，
2、C波段紫外線光對廢氣分子進行催化氧化，反應產生的O3進一步將裂解分化的分子或原子進行氧化反應，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉變成低分子化合物CO2、H2O等
3、光氧設備內部密布著催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，*與光源接觸，*惰性催化劑可將C波段紫外線光放大10-30倍光源效果，加大廢氣的氧化反應，使紫外線光與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率，催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化效果。
通過以上處理后的廢氣凈化效率可達99%以上，凈化、脫臭效果大大超過GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》二級排放標準，GB14554-93《惡臭污染物排放標準》二級排放標準。
