*代濕法煙氣脫硫系統
在美國和日本從70年代開始安裝。早期的FGD系統包括以下一些流程：石灰基流質；鈉基溶液；石灰石基流質；堿性飛灰基流質；雙堿（石灰和鈉）；鎂基流質；Wellman-Lord流程。采用了廣泛的吸收類型，包括通風型、垂直逆流噴射塔、水平噴射塔，并采用了一些內部結構如托盤、填料、玻璃球等來增進反應。*代FGD的效率一般為70%~85。除少數外，副產品無任何商用價值只能作為廢料排放，只有鎂基法和Wellman-Lord法產出有商用價值的硫和硫酸。特征是初投資不高，但運行維護費高而系統可靠性低。結垢和材料失效是大的問題。隨著經驗的增長，對流程做了改進，降低了運行維護費提高可靠性。
第二代濕法煙氣脫硫系統
在80年代早期開始安裝。為了克服*代系統中的結垢和材料問題，出現了干噴射吸收器，爐膛和煙道噴射石灰和石灰石也接近了商業運行。然而占主流的FGD技術還是石灰基、石灰石基的濕清洗法，利用填料和玻璃球等的通風清洗法消失了。改進的噴射塔和淋盤塔是較常見的。流程不同其效率也不同。初的干噴射FGD可達到70%~80%，在某些改進情形下可達到90%，爐膛和煙道噴射法可達到30%~50%，但反應劑消耗量大。隨著對流程的改進和運行經驗的提高，可達到90%的效率。美國所有第二代FGD系統的副產物都作為廢物排走了。然而在日本和德國，在石灰石基濕清洗法中把固態副產品強制氧化，得到在某些工農業領域中有商業價值的石膏。第二代FGD系統在運行維護費用和系統可靠性方面都有所進步。
第三代濕法煙氣脫硫系統
爐膛和煙道噴射流程得到了改進，而LIFAC和流化床技術也發展起來了。通過廣泛采用強制氧化和鈍化技術，影響石灰、石灰石基系統可靠性的結垢問題基本解決了。隨著對化學過程的進一步了解和使用二基（DBA）這樣的添加劑，這些系統的可靠性可以達到95%以上。鈍化技術和DBA都應用于第二代FGD系統以解決存在的問題。許多這些系統的脫硫效率達到了95%或更高。有些系統的固態副產品可以應用于農業和工業。在德國和日本，生產石膏已是電廠的一個常規項目。隨著設備可靠性的提高，設置冗余設備的必要性減小了，單臺反應器的煙氣處理量越來越大。在70年代因投資大、運行費用高和存在腐蝕、結垢、堵塞等問題，在火電廠中聲譽不佳。經過15年實踐和改進，工作性能與可靠性有很大提高，投資和運行費用大幅度降低，使它的下列優點較為突出：
（1）有在火電廠*應用的經驗；
（2）脫硫效率和吸收利用率高（有的機組在Ca/S接近于1時，脫硫率超過90%）；
（3）可用性好（近安裝的機組，可用性已超過90%）。人們對濕法的觀念，從而發生轉變。
