工業純水機由預處理系統、精處理系統、后處理系統三大部分組成。原水經PP濾芯（砂棒過濾器）、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物（顆粒物質）、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以、電除鹽等精處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。
依各種原水水質和要求的不同，工業用水的制備工藝大體可分為預處理、脫鹽和精處理三步。
工業純水機特點：
1.紫外線殺菌速度快，效率高，效果好。
2. 紫外線照射不會改變水的物理和化學性質，對純水不會帶入附加物所引起的污染。
3. 適用于各種水的流量下，操作簡單，適用方便，只需要定期清洗石英玻璃套管，更換燈管即可。
4. 體積小，輕便，耗電低。
5. 紫外線殺菌沒有持續消毒作用，易受二次污染。
紫外光（UV）的氧化作用。
RO（Reverse Osmosis）反滲透技術是利用壓力表差為動力的膜分離過濾技術，源于美國二十世紀六十年代宇航科技的研究，后逐漸轉化為民用，已廣泛運用于科研、醫藥、食品、飲料、海水淡化等領域。
RO反滲透膜孔徑小至納米級（1納米=10-9米），在一定的壓力下，H2O分子可以通過RO膜，而源水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質無法通過RO膜，從而使可以透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格區分開來。
RO膜對高價離子、膠體、細菌及分子量大于300 dalton的有機物質（包括熱源）去除率高達99%以上，對低價離子（NA+、K+）去除率達95%，當源水電導率<3505µs/cm，RO純水電導率通常≤55µs/cm，符合國家三級用水標準。再經過原子級離子交換柱循環過濾，出水率可達18.2MΩ.cm。
反滲透法是可達到90%～99%雜質去除率經濟的方法，同時也是試劑級超純水系統hao的前處理方法。
