車間廢氣處理設備常見的產生等離子體的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。根據放電產生的機理、氣體的壓j源性質以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：①輝光放電；③介質阻擋放電；④射頻放電；⑤微波放電。無論哪一種形式產生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產生危險。由于對諸如氣態污染物的治理，一般要求在常壓下進行。
車間廢氣處理設備是等體積傳統活性炭過濾設備過濾面積的2~4倍，阻力只有傳統的1/2~1/3。環形活性炭凈化裝置由于采用切線出風，其方向不受場地條件限制可任意擺放，抽風機和設備對接極易，排放管可直接固定于設備上，系統整齊合理。
廢氣的產生部位比較多，并且分散在車間中，因此在處理廢氣之前必須先把廢氣收集起來，所以需要集氣系統對其進行收集后統一進行處理。
在車間機器產生廢氣的具體部位加上密閉系統，然后安裝相對應的管道，利用風機作用將廢氣抽出；另外，一方面在車間四周的地面部位安裝一定量的鼓風機，將車間內散布的廢氣由下而上鼓氣，另一方面在車間頂部安裝抽風機，使抽氣量大于鼓風量，從而車間內產生一定的低負壓，保證了車間內廢氣不會像外擴散。抽出的廢氣統一由管道外送進行處理。
是先將集氣系統收集的廢氣輸送到堿式吸收塔中，將廢氣由下而上輸入，堿液通過噴淋的方式由上而下噴淋廢氣，經過吸收塔處理后的氣體在經過一層水幕除塵后輸入燃燒塔中。此過程去除了廢氣中含有的部分酸性氣體和粉塵。廢氣仍然由下而上進入燃燒塔，在燃燒塔中燃燒后，除去了廢氣中含有的有機物，后再經過一層水幕除塵過程，再去除氣體中因燃燒產生的粉塵，燃燒后的二氧化碳和水就排入大氣中即可。
