First-Nano System GmbH 

• 2003年          創立于德國德累斯頓工業大學（Dresden University of Technology）

• 2008年          香港成立德國韋氏納米系統（香港）有限公司   

• 2015年          上海成立德國韋氏納米系統（香港）有限公司中國代表處，負責中國區業務

• 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統（深圳）有限公司，更好的為中國南方區市場

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產品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液