分子泵機組真空設備集成

可移動排氣臺方案配置說明

一、配置（簡單氣路，不用旁抽）：

分子泵：JTFB-1600，抽速1600L/s的國產風冷復合分子泵；

機械泵：TRP-36，抽速9L/s的合資機械泵；

復合真空計：PDF-5227，測量范圍大氣壓—10^-5Pa，含CF35

電離規和KF16電阻規；

轉接真空室：CF250—CF150，高度200mm；

插板閥：CF150手動；

防返油閥：KF40壓差隔斷放氣閥，電磁驅動；

波紋管：1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm

移動平臺：帶圍板的小車。

分子泵機組真空設備集成

我們的產品嚴格遵照相關標準，并執行原材料檢驗、加工在線檢測、半成品檢測及成品出廠檢測，對于非標定制的產品與客戶聯合檢測驗收；需要特別指出的是對于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴格的觀察檢驗及氦質譜檢漏儀檢漏測試，并對整個系統進行漏率測試，系統漏率優于 8.0×10-8 Pa.L/S。

維意真空踐行“先服務，后銷售”原則，承諾對本公司銷售的產品提供不少于12個月的質保服務（可根據客戶要求提供延保服務），質保期內設備的維修免費。質保期外，提供終身服務。對于操作故障，本公司在接到故障通知2小時內給予解答；對于設備故障，公司在接到故障通知后，北京地區12小時內派技術人員到達現場處理，外阜地區48小時內到達現場。

二、實例