工業(yè)有機(jī)廢氣低溫等離子體集成凈化裝置與方法，裝置由低溫等離子體單元與分子篩吸附/催化單元依次串聯(lián)組成，并包括相應(yīng)的連接管道、閥門、引風(fēng)機(jī)及循環(huán)風(fēng)機(jī)。有機(jī)廢氣在引風(fēng)機(jī)的作用下，依次經(jīng)過等離子體單元氧化及分子篩吸附/催化單元吸附處理，分子篩吸附/催化單元中一個分子篩吸附/催化倉室吸附飽和后，該倉室門關(guān)閉，有機(jī)廢氣進(jìn)入另外一個分子篩吸附/催化倉室內(nèi)吸附凈化后排放。吸附飽和后的分子篩催化單元通過閥門切換與外接管路、等離子體、循環(huán)風(fēng)機(jī)構(gòu)成循環(huán)再生系統(tǒng)，在較短時間內(nèi)實現(xiàn)分子篩原位再生。
    將低溫等離子體與分子篩吸附、催化相結(jié)合，避免了低溫等離子體要*氧化降解有機(jī)氣體，能耗高、能量利用率低的缺點(diǎn)，有效地控制了等離子體放電過程中產(chǎn)生的氣溶膠粒子等有害副產(chǎn)物造成的二次污染，而且系統(tǒng)緊湊，操作簡單，一次投資和運(yùn)行費(fèi)用低。

    應(yīng)用范圍：

    可廣泛應(yīng)用于處理石油化工、污水處理、垃圾處理、化學(xué)制藥、航天、電子工業(yè)、皮革加工等生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣。