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四方光電股份有限公司作者
近年來，全球平板顯示面板市場規(guī)模持續(xù)擴大，下游消費電子領域(電視、電腦、手機等)以及商用顯示、車載顯示、醫(yī)療顯示等專業(yè)顯示市場需求持續(xù)增長。為應對市場擴容需求，LCD和OLED面板制造過程中亟需提升良品率，以確保終端市場產(chǎn)品供應并維持市場競爭優(yōu)勢。
影響LCD與OLED質(zhì)量的核心要素
在平板顯示制造工藝中，顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關鍵因素。隨著器件小型化與精密化發(fā)展，高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級，這使得生產(chǎn)工藝對顆粒污染更為敏感。基底表面顆粒沉積易引發(fā)點缺陷甚至線缺陷，直接導致產(chǎn)品良率下降。
靜電污染問題同樣不容忽視。材料間電子能級差異導致接觸時發(fā)生電荷轉移，由此產(chǎn)生的靜電吸附(ESA)效應會強力吸附周圍微粒，此類污染難以通過常規(guī)清潔手段去除。此外，靜電放電(ESD)與電磁干擾引發(fā)的設備故障也會對制程穩(wěn)定性造成威脅。
潔凈室實時顆粒物監(jiān)控解決方案的價值
通過實施潔凈室環(huán)境顆粒物實時監(jiān)測系統(tǒng)，可及時識別顆粒濃度超標風險，并采取針對性防控措施。該方案能有效降低空氣懸浮顆粒沉降造成的基底表面污染，同時緩解靜電吸附(ESA)導致的次生污染，從而系統(tǒng)性提升產(chǎn)品良率。
四方光電在線激光塵埃粒子計數(shù)器技術優(yōu)勢
四方光電依托成熟的光散射技術，開發(fā)出OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503系列在線或便攜型粒子計數(shù)器。該產(chǎn)品線具有以下核心優(yōu)勢：
?采用工業(yè)級大功率線性激光源，確保>98%的粒子識別精度與計數(shù)效率
?支持多通道定制化粒徑分級(標準配置含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm)
?連續(xù)穩(wěn)定采樣設計，MTBF(平均無故障時間)超過30,000小時
?符合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等國際標準，適用于百級至十萬級潔凈環(huán)境
?該系列產(chǎn)品已通過RoHS認證，在TFT-LCD陣列制程、OLED蒸鍍工藝等關鍵制程環(huán)節(jié)實現(xiàn)規(guī)模化應用
關鍵詞：塵埃粒子計數(shù)器
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