1.低溫等離子除臭設備中的介質阻擋放電的過程中，等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、臭氧和激發態分子等，理論上VOCs與這些具有較高能量的活性基團發生反應，部分會被裂解，最終轉化為二氧化碳和水等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

2.低溫等離子除臭設備在顯微鏡下，由于放電過程僅增加電??子溫度并且離子溫度基本保持不變，因此反應系統可以保持在低溫，并且低溫等離子除臭設備具有高能量利用率。而且設備維護成本也很低。

3.低溫等離子除臭設備電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量傳遞給分子或原子，并且獲得能量的分子或原子被激發，并且一些分子被電離成為活性基團;然后這些活性基團和分子或原子、反應基團和反應基團相互碰撞形成穩定的產物和熱量利用排氣裝置將有機氣體輸入凈化裝置后，利用高能紫外線光束和臭氧協同分解和氧化有機(氣味)氣體，使有機氣體物質降解為低分子量化合物、水和二氧化碳，然后通過。排氣管排出到外面。在毫秒時間內，立即對有害廢氣分子進行氧化還原反應，廢氣中的一小部分污染物被降解為二氧化碳和水以及易于處理的物質。