MSLM-120X100-INXY-E50倒置顯微鏡直線電機平臺
匹配顯微鏡型號：
OLYMPUS IX53/73/83
NIKON Ti
接受其它顯微鏡型號定制
MSLM-100X100-INXY-E50工業顯微鏡直線電機平臺是專門針對主流研究級倒置顯微鏡設計開發的產品，相比傳統的絲桿驅動平臺，它具有精度更佳、響應更快、速度更高、壽命更長的優點。而且由于直線電機屬于非接觸式直驅機構，幾乎無噪音，是傳統顯微鏡平臺的優化升級產品。
主要尺寸及性能參數：
●行程：120mm x 100mm
●光柵分辨率：50nm
●最小步長：100nm
●重復定位精度：≤±250nm
●速度：≥300mm/s
●導軌類型：交叉滾柱導軌
●負載：≥5kg
●直驅機構，無回程間隙
●主體材質：航空級鋁合金
●表面處理：上滑臺面噴砂及硬質陽極氧化，其余結構件普通陽極氧化
產品型號命名規則：
MSLM - 120X100 - INXY - E50
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1MSLM是直線電機顯微鏡平臺的英文縮寫
2120x100代表著該型號產品的有效行程，單位mm，如需其它行程，可聯系廠家溝通定制
3INXY代表工作軸方向及類型，IN是INVERT倒置的意思，默認按照笛卡爾坐標系確認方向
4E50代表該型號產品光柵的分辨率，單位nm，默認產品分辨率為50nm，可選20nm/100nm/0.5um/1um/5um等，分辨率的改變會導致平臺速度以及重復定位精度的變化，詳細情況請進一步咨詢廠家
特別注意事項：
1、直線電機平臺屬于高精度精密設備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環境，尤其在使用要求重復定位精度小于1um的設備上，所有指標的復現都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等，詳細要求可進一步聯系廠家咨詢溝通
2、所有平臺可單獨訂購，如對設備的精度以及性能要求較高，推薦使用奧正智能自主生產的MCS控制器系列，搭配MCS系列控制器出貨的產品，在出廠檢驗中都會做針對性的優化和校準，是您高要求使用的。
