平板顯示器
我們豐富多樣的 STP Maglev 渦輪分子泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量和Z終零濕度制程條件，同時盡可能降低功耗、占地面積和重量。

LED
我們的 STP Maglev 渦輪分子泵產品系列是適用于大容量高流速應用的“一體化”低功耗緊湊型解決方案。 

光電
我們的 STP Maglev 渦輪分子泵已進行優化，可滿足客戶的特定應用要求，同時具有的制程氣體處理能力、始終如一的性能的Z高可靠性。

半導體加工  
磁懸浮轉子經過專門設計，降低了艙室污染并延長了維修間隔，使得 STP Maglev 渦輪分子泵成為您的制程工具的可靠之選。 

*的 高吞吐量系列
全新的“優勢”系列 磁懸浮渦輪泵經過專門設計，可提供下一代 半導體蝕刻和 CVD 制程所需的Z高吞吐量 級別。它們是以超可靠、高性能 H 系列產品 為基礎，通過持續改進技術開發而成。 其*的轉子技術和 3D 葉片設計與一系列可供選擇的 Z佳材料相結合，因而能夠在與現有的許多型號相同的 占用空間內創造出下一代高吞吐量渦輪泵。 該系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生產效率， 吞吐量高達 6 slm，并具有更高的 H2、N2 和 Ar 性能。 

集成的控制器和電源
這是真正的一體化渦輪泵 解決方案，具有出色的特性并可實現節省。  集成的控制器不再需要非集成控制器 通常所需的連接電纜和機架，有助于減小 占地面積，節省寶貴的工廠用地以及安裝時間和 成本。此外，板載控制器包含一個小型電源， 與現有產品相比，它可在高氣體流量下實現 大約 32% 的能耗降低。此系列產品的生產效率 為 300 l/s 到 4500 l/s，這意味著它是許多制程和應用的 理想選擇。  

超 高真空 
超高真空系列 磁懸浮渦輪分子泵是供許多半導體、表面科學 或高能物理領域使用的泵。這種泵 具有的可靠性、性能、清潔程度以及的 低振動級別。這些泵全部是直流供電，無需使用 電池，采用一個具有自動調節和*診斷功能的 半機架控制器。該系列中泵的速度范圍為 300 l/s 到 1000 l/s，極限壓力小于 10-10 mbar（CF 法蘭），另外 還有一個用于嚴苛制程的“C”型。 

超 高真空低振動系列
超高真空低振動 型包含超高真空渦輪分子泵的所有特性， 另外還有一個內置隔振器，可提供超低振動 性能。  

通過從我們的 SCU 控制器 系列中進行選擇，選擇正確的控制器以便與您的 STP Maglev 渦輪泵配合使用。

SCU-350 控制器
SCU-350 控制器是符合 EU-RoHS 標準 的控制器，適用于小型渦輪泵。它兼容 當前的控制器型號，但是低頻范圍下的抗振性 更好。它的輸入電壓也 較低，有助于降低電氣容量和工具 功耗。SCU-350 的電噪抗擾度得到提高，并具有 通用電壓功能，工作電源電壓范圍為 100-240 VAC， 無需進行切換。

SCU-800 控制器
SCU800 渦輪泵控制器是一種 數字化的控制器，對于中型泵具有的兼容性。 新的 AVR（自動減振）技術可進一步降低 振動級別，而高級預維護調用功能可以提前通知 準確的維護時間。 

SCU-XL800 控制器
數字化的 SCU-XL800 渦輪泵 控制器與 600 l/s 到 1300 l/s 范圍內的 STP 渦輪泵 兼容。SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振動級，這種級別的振動使用機械隔振器 很難消除。它使用數字信號處理器 (DSP) 技術， 可在整個頻譜范圍內實現亞毫微米的振動級。 此控制器適用于電子顯微鏡檢查、度量學和光刻系統， 在這些系統中，低的振動對于應用至關重要。

SCU-1600 控制器
數字化的 SCU-1600 渦輪泵控制器與 2000 l/s 到 4500 l/s 范圍內的 STP 渦輪泵兼容。它提供可靠性、增強的 通信功能以及泵的兼容性，減少了對后備裝置的要求 并極大降低了總運行成本。