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廣電計量檢測集團股份有限公司

快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2021/3/22 10:04:35
  • 訪問次數5516
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業從事儀器設備研發、生產、銷售及服務的企業。主要生產半導體工藝設備、環境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業,具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業,建筑,節能等行業;多年來,公司以“真摯的服務、優質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業務有HMDS預處理系統,HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業服務能力,做一個專業的儀器設備供應商是我們的發展目標。企業內部實施了CRM、ERP項目管理,在產品開發、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
測量范圍 1000 測量精度 1
外形尺寸 658mm 用途 半導體,硅片工藝
重量 153kg
快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能
快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐 產品信息

快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐簡介

快速退火爐(RTP)近年來得到越來越廣泛的應用。可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火,硅化物形成,歐姆接觸制備以及快速氧化,快速氮化等方面。該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫,慢速升降溫功能,采用三回路閉環溫度控制,精確的溫度控制部件可適用于特殊工藝要求,工藝重復性高,也可用于鐵電膜的制備以及各種半導體材料CVD的熱處理。

JS-RTP系列快速熱處理退火為我公司根據客戶需求專業定制的熱處理設備,半導體RTP快速退火爐主要用于:快速燒結快速退火工藝。具有溫度均勻控制穩定等特點觸摸屏操作方式(設備小巧,節約空間)

 

 

快速熱處理退火爐,半導體RTP快速退火 爐主要技術參數

1、外型形式:臺式

2、樣品尺寸:2-8英寸

3、外部爐膛:合金鍍金爐膛

4、內部爐膛:優質石英材質、可拆下清洗,有進、出氣接口

5、加熱材質:紅外線燈管加熱

6、顯示:觸摸屏或電腦式

7、溫度范圍:300-1000℃ 

8、控溫精度:±5

9、升溫速率:10℃-50/S可調

10、降溫速率:10℃-50℃/S不可調

11、降溫方式:水冷(冷水機或冷水管道+氣冷)

12、工藝氣體:三路,一路氮氣、一路空氣、一路氧氣,配備質量流量計,氣體流量動調節
13、真空度:可達0.05torr(可選配)
14、真空系統:進口無油真空泵
15、保護系統:超溫保護,流量保護,計時控制,缺水報警等。

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